1、背景

     半导体工业使用的水一般可分为超纯水（Ultra-Pure Water, 简称UPW） 、工业用水（用于设备运行）和生活用水。超纯水是电子行业中常用的术语，但在其他行业诸如太阳能光伏，制药，发电以及研究实验室等也被使用到。

     业界有不同的方式将半导体超纯水系统细分成不同的子系统，这里将其细分为预处理、除盐水、纯水、循环抛光及回收五大子系统。

2、主要水系统介绍

2.1循环水系统

2.2超纯水系统

3、可以选用哪些ACECLEAN产品

    超滤膜

    反渗透膜

    EDI 纳滤膜

    MBR膜

    DTRO膜

    大通量滤芯

    循环水专用药剂

    反渗透专用药剂

4、应用案例